陈大鹏

陈大鹏,1990年毕业于合肥工业大学化工系高分子材料专业,现任中科院微电子研究所研究员、副所长, “万人计划”首批科技创新领军人才人选。

1995、2000年于中国科大分获高分子化学理学硕士学位、核技术及应用工学博士学位。

主要研究领域为微细加工技术,在同步辐射(X射线)光刻及微细加工领域作过多年应用技术研究。

2003年“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”获北京市科技进步一等奖。

“十一五”期间,担任国家集成电路先导工艺研发中心主任,承担了国家集成电路成套装备及工艺研究的重大专项项目,作为总投资7.2亿的国家22纳米CMOS先导工艺平台建设项目的负责人,负责组织了中科院微电子所、北京大学、清华大学、南京大学、中科院微系统所、复旦大学、中芯国际等一大批单位,建成了我国第一个面向22纳米及以下技术代研发的工艺平台。

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